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  • JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺
    JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺 JKZC-ST-X-100 X軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功...
  • JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺
    JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺 JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米何服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描...
  • JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺
    JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺 JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺基于做納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
  • JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺
    JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺 Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。
  • JKZC-ST-Z-50 Z軸納米定位/掃描平臺
    JKZC-ST-Z-50 Z軸納米定位/掃描平臺 Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。
  • JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺
    JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺 六自由度調(diào)臺可實現(xiàn)多自由度運動,動態(tài)范圍大,重載穩(wěn)定性強,任意指定轉(zhuǎn)動中心,可滿足各種工業(yè)需求,適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。
  • JKZC-UVZ-10B三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺
    JKZC-UVZ-10B三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺 音圈電機驅(qū)動三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺,屬于三軸并聯(lián)運動機構(gòu)。通過三個線性移動軸的并聯(lián)運動實現(xiàn)Z軸線性運動和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運動??梢詫崿F(xiàn)單軸直線運動、兩軸線性插補、兩軸圓弧插補、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運動。
  • JKZC-X-16A單軸長行程壓電滑臺
    JKZC-X-16A單軸長行程壓電滑臺 JKZC-X-16A 單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復(fù)合納米運動技術(shù),具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
  • JKZC-X-16B單軸長行程壓電滑臺
    JKZC-X-16B單軸長行程壓電滑臺 JKZC-X-16B單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復(fù)合納米運動技術(shù),具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
  • JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺
    JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺 JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復(fù)合納米運動技術(shù),具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
  • JKZC-XXA壓電螺釘
    JKZC-XXA壓電螺釘 壓電螺釘以自身超遠(yuǎn)行程、高穩(wěn)定性、納米級分辨率和斷電自鎖等優(yōu)勢,能夠?qū)崿F(xiàn)應(yīng)用于精密的納米運動平臺系統(tǒng)以及免接觸緊湊封裝型光學(xué)調(diào)整裝置。
  • JKZC-XY-16A 雙軸長行程壓電滑臺
    JKZC-XY-16A 雙軸長行程壓電滑臺 JKZC-XY-16A雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復(fù)合納米運動技術(shù),具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
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