描述：JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米何服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2026-04-21
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86

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應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺(tái)

JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米何服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺(tái)

1、典型應(yīng)用

光學(xué)對準(zhǔn)

納米壓印

顯微成像/操縱

表面檢測

高密度存儲(chǔ)

測量技術(shù)表面檢測

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點(diǎn)

亞納米級(jí)分辨率

超高定位精度

無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

可正置/倒置

超高真空兼容性

高速、高動(dòng)態(tài)

多運(yùn)動(dòng)模式：定位/掃描

3、2D尺寸圖

JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-ST-XYZ-100	單位
運(yùn)動(dòng)觸數(shù)	3
驅(qū)動(dòng)類型	壓電陶瓷
閉環(huán)行程	100x100x100	μm
閉環(huán)分辨率	1/1/1	nm
最小步長	2/2/2	nm
XY/Z向上的無負(fù)載諧頻率	600/600/550	Hz
最大負(fù)載	200	g
傳感器類型	電容傳感器
尺寸(LxWxH)	40x40x42	mm
白重	150	g
電氣接口	D-sub9/可定制
工作泗度	-20-80	℃
屏蔽線纜長度	2	m
材料	鋁合金
真空(可選)	超真空兼容(5x10")	mbar