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高速納米掃描臺(tái)基于音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)和高精度導(dǎo)向模組實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動(dòng)，內(nèi)置光柵位移傳感器，具有納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)精度，同時(shí)兼具高速、高動(dòng)態(tài)位移定位和掃描功能。

專為芯片-品圓鍵合(Dle-to-Wafer,D2W)應(yīng)用場(chǎng)景而設(shè)計(jì)，具備高精度、高動(dòng)態(tài)吶應(yīng)、且可集成于多種封裝設(shè)備的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)。

任何位移臺(tái)都有6個(gè)自由度:3個(gè)分別沿著x、y、z軸方向的平移自由度，另外3個(gè)則是圍繞x、yz軸的旋轉(zhuǎn)自由度(如圖1)。

精密運(yùn)動(dòng)位移臺(tái)基于步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)和高精度導(dǎo)向模組實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動(dòng)，內(nèi)置光柵位移傳感器，結(jié)構(gòu)緊湊，通過(guò)自主研發(fā)的高性能納米伺服系統(tǒng)獲得優(yōu)異的閉環(huán)控制效果，具有高精度、高速、高動(dòng)態(tài)位移定位和掃描功能。

JKZC系列絕對(duì)式納米光柵尺傳感器基于阿米精控自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)量測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，保證了的測(cè)量分辨率，滿足各種應(yīng)用場(chǎng)景下納米級(jí)的測(cè)量需求。

JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機(jī)專為緊湊型應(yīng)用設(shè)計(jì)，內(nèi)置前置放大器、濾波器和信號(hào)調(diào)理電路，并針對(duì)適配探頭進(jìn)行驅(qū)動(dòng)優(yōu)化，適合于集成型應(yīng)用。