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型號(hào):
JKZC-NHR高精度角度臺(tái)

描述:JKZC-NHR高精度角度臺(tái)專用10°范圍內(nèi)高分辨率θ定位移動(dòng),基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及特殊設(shè)計(jì)的驅(qū)動(dòng)和納米伺服技術(shù),具有納米級(jí)重復(fù)定位精度,可實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)行程士5°的俯仰調(diào)節(jié)。

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間

    2026-04-22
  • 訪問(wèn)量

    85
詳細(xì)介紹
品牌北京精科產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

c

JKZC-NHR高精度角度臺(tái) 

1、典型應(yīng)用

掃描電鏡(SEM)樣品操縱

主動(dòng)光學(xué)

超分辨成像樣品移動(dòng)

大范圍電子束直寫(xiě)(EBL)

微納裝備及制造

集成電路制造與檢測(cè)

高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿

納米聚焦與掃描

顯微及納米CT

2、技術(shù)特點(diǎn)

超長(zhǎng)運(yùn)動(dòng)行程:士5°

高分辨率:閉環(huán)分辨率為0.0175μrad

運(yùn)動(dòng)速度:可達(dá)3°/s

負(fù)載:500g

超高真空兼容性

運(yùn)動(dòng)模式:支持開(kāi)環(huán)與閉環(huán)

輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊,高可靠性

模塊化設(shè)計(jì),摩擦單元可替換


3、2D尺寸圖

 JKZC-NHR高精度角度臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)


JKZC-NHR-60.5*

JKZC-NHR-77.5*

單位

傳感器類型

光柵編碼器(玻璃柵尺


行程

±5

°

最大負(fù)載

500

g

旋轉(zhuǎn)中心(工作平臺(tái))

60.5

77.5

mm

驅(qū)動(dòng)類型

壓電陶瓷

角速度

3

°/S

最小步長(zhǎng)

0.5

μrad

自重

150

150

g

尺寸(LxWxH)

50x50x16.5

50x50x16.5

mm

工作溫度

10~50

電氣接口

D-sub9

線纜長(zhǎng)度

2

m

材料

鋁合金/鈦合金

真空(可選)

超真空兼容(5x10-9)

mbar


5、適配控制器


 JKZC-NHR高精度角度臺(tái)


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