描述：JKZC-ST-5CD 五軸納米掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運助分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。

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品牌	北京精科	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-ST-5CD五軸納米掃描臺

JKZC-ST-5CD 五軸納米掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運助分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-5CD五軸納米掃描臺

1、典型應用

掃描顯微鏡

生物技術(shù)

顯微成像/操縱

干涉測量

超分辨率顯微鏡

掩模/晶圓定位

計量

2、技術(shù)特點

亞納米級分辨率

超高定位精度

無摩擦柔性鉸鏈導向

超高真空兼容性

高速、高動態(tài)

多運動模式:定位/掃描

3、2D尺寸圖

JKZC-ST-5CD五軸納米掃描臺

4、規(guī)格參數(shù)