描述：五軸重載荷壓電平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2026-04-21
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115

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品牌	北京精科	產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái)

五軸重載荷壓電平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái)

1、典型應(yīng)用

大口徑鏡頭測(cè)量

大型光機(jī)系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)

大幅面干涉測(cè)量

鏡組準(zhǔn)直與穩(wěn)定

納米壓印

顯微成像/操縱

測(cè)量技術(shù)

集成電路檢測(cè)

半導(dǎo)體加工

2、技術(shù)特點(diǎn)

亞納米級(jí)定位穩(wěn)定性

納米級(jí)閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨力

無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

大負(fù)載

空間多白由度

各級(jí)真空兼容性

3、2D尺寸圖

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-ST-FA"	單位
運(yùn)動(dòng)軸	X,Y,Z, θx,θY, θZ
傳感器類型	電容式位移傳感器
驅(qū)動(dòng)類型	壓電陶瓷
XY/Z閉環(huán)行程	100/100/40	μm
θx/θY閉環(huán)行程	±150/±150	μrad
X/Y分辨率	<2	nm
Z分辨率	<1	nm
θX/θY分辨率	<20	nrad
X/Y/Z線性度	0.03%
X/Y/Z重復(fù)定位精度	<10	nm
θX/θY重復(fù)定位精度	0.1	μrad
平臺(tái)噪聲	<2	nm
最大承載能力	35(另有50/100/150/200可選)	kg
Z諾振頻率@35kg	>100	HZ
θx/θY諧擬頻率@35kg	>100	HZ
帶載最高工作頻率	10	HZ
材料	鋁合金/鈦合金。
自重	12	kg
工作溫度	0-50	℃
尺寸(LxWxH)	φ475x103中空φ360	mm

5、適配控制器

JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺(tái)

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